Astudiaeth achos: Datblygiad arloesol mewn prosesu swbstrad gwydr cwarts
Gwrthrych prosesu: swbstrad gwydr cwarts ar gyfer ffotolithograffeg
Manylebau:
Deunydd: 99.99% -gwydr cwarts purdeb uchel
Nodweddion prosesu: siamffer dwyochrog-C0.2 + wal ochr fertigol
Gofynion wyneb: Ra < 150nm (gradd drych)
Dimensiynau: 145×145×5.5mm±0.01mm
Dadansoddiad o bwyntiau poen prosesu diwydiant
Fel nwyddau traul craidd offer gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, mae angen i rannau cwarts ar gyfer ffotolithograffeg fodloni tair safon llym ar yr un pryd: trawsyriant deunydd > 99.6%, goddefgarwch dimensiwn ±10μm, a garwedd wal ochr Ra < 150nm. Mae'r dull prosesu traddodiadol yn defnyddio proses malu olwyn malu, sydd â dwy broblem fawr yn y diwydiant:
Dagfa effeithlonrwydd: mae prosesu un darn yn cymryd hyd at 120 munud
Diffygion arwyneb: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560 nm
Colli offer: mae bywyd offeryn cyffredin yn llai na 50 darn
BISHENarloesi technoleg datrysiadau
Yn wyneb nodweddion caled a brau deunyddiau cwarts, mae cyfansawdddatrysiad prosesuyn cael ei fabwysiadu:
• 20kHz trachywiredd ultrasonic ysgythru a system melino
• torrwr melino PCD micro-rhan annatod (ymyl R0.05mm)
• Proses dorri haen echelinol (2μm fesul haen)
Cymhariaeth o fanteision prosesu mesuredig
Trwy ddilysu a chymharu prosesau, mae dangosyddion allweddol wedi gwella’n sylweddol:
Gwerth Cymhwysiad y Diwydiant
Llwyddodd yr ateb hwn i ddatrys y broblem brosesu "dagfa" yn y broses leoleiddio rhannau peiriant lithograffeg, gan gynyddu gallu cynhyrchu'r swbstrad cwarts o 10 darn y dydd i 50 darn, a'r gyfradd cymhwyster prosesu o 63% i 98.5%. Yn ôl canfod interferomedr laser Zeiss, cywirdeb prosesu wyneb gwerth PV yw<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
YnghylchBISHEN
Bishen Precisionyn arbenigo mewn prosesu rhannau caledwedd manwl, gyda 7,500 metr sgwâr o weithdai safonol, ac mae ei wasanaethau'n cwmpasu awyrofod, offer meddygol, robotiaid diwydiannol a meysydd eraill. Gyda'r gallu i brosesu rhannau strwythurol cymhleth ac ardystiad system ISO, mae'n darparu datrysiadau proses lawn i gwsmeriaid o ddylunio a datblygu i gynhyrchu màs.
